[23p-C102-1~14] 13.3 絶縁膜技術

[23p-C102-13] GeO₂膜の耐水性についての検証

〇澁谷 岳人¹、石塚 啓太¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.農工大院工)

キーワード：Ge系半導体