[22p-P04-1~4] 7 ビーム応用(ポスター)

[22p-P04-3] デュオプラズマトロンイオン源からの分子イオン引き出し

〇太田 裕作¹、安藝 基¹、宮本 直樹¹、和田 元¹ (1.同志社大理工)

キーワード：CMOSイメージセンサー、分子イオン引き出し

多孔型中間電極を用いてデュオプラズマトロン型イオン源からの分子イオン引き出しというテーマで研究をしています。アルゴンガス、水素ガス、ネオンガスなど供給するガス種による放電特性、イオンビーム電流量を比較していきます。