[23p-D113-1~19] 1.6 Ultrasonics

△ [23p-D113-13] Measurement of acoustic Bragg reflector by ultrasonic microscope

〇Motoshi Suzuki^1,2, Ishii Naoki^1,2, Keita Kondo^1,2, Takahiko Ynangitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:Bragg reflector, SMR, Pulse echo method

音響ブラッグ反射器を用いた音響多層膜共振子（SMR: Solidly Mounted Resonator）[1]は基板に熱が放射できるため耐電力性の高いスマートフォン向けRFフィルタに実用化されている。通常、SMRの特性を評価する際には、圧電層の性能とブラッグ反射器の音響特性を分離することは困難である。もしブラッグ反射器単体の特性評価することができれば、SMRの設計や改良の手助けとなる。本研究では超音波パルスエコー法[2]を用いることにより、ブラッグ反射層単体の通過特性を評価する新規手法を提案する。