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[23p-F308-9] Effective carrier lifetime in BaSi2 films deposited on Si by close-spaced evaporation
Keywords:barium silicide, carrier lifetime, photoconductivity
本研究では、近接蒸着法で作製したBaSi2薄膜の実効キャリア寿命を、定常光照射下における光伝導度測定により決定することを試みた。Si基板上に700–1000 °Cで成膜した試料を評価した結果、μ-PCDの時定数と同程度のキャリア寿命が得られ、測定の妥当性を確認できた。また、最大で6.2 μsの長いキャリア寿命を確認した。