[23p-P06-1~16] 6.4 Thin films and New materials

[23p-P06-1] Systematic investigation on piezoelectric property of Mg and transitional element simultaneously added into AlN

〇Kenji Hirata¹, Hiroshi Yamada¹, Masato Uehara¹, Sri Ayu Anggraini¹, Morito Akiyama¹ (1.AIST)

Keywords:piezoelectric material, nitride, first-principles calculation

本研究では、Mgと遷移金属Xを同時添加したAlNを対象に、第一原理計算により系統的に圧電特性を評価した。計算結果より、ほとんどのMgとXの組合せで圧電定数はAlNよりも高くなった。これまでに高い圧電特性が報告されているScAlNと同等以上の添加元素の組合せも見出すことができた。また、Xが第5・6周期遷移金属の場合、原子番号によって圧電特性が系統的に変化し、Xの価電子数が圧電特性に影響を与えていることが示唆された。