[24a-E103-1~13] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[24a-E103-6] Study of two-axes Piezo-resistive Accelerometer using Full Minimal-Fab Process

〇Hiroshige Kogayu¹, Hiroyuki Tanaka², Fumito Imura², Sommawan Khumpuang^1,2, Shiro Hara^1,2 (1.MINIMAL, 2.AIST)

Keywords:MINIMAL, MEMS, Sensor

これまではピエゾ抵抗型１軸加速度センサについて検討を行なってきたが、次の段階としてフルミニマルプロセスによる２軸加速度センサの試作を行った。おもりにプローブによって強制変位を与える方法を用い梁上のピエゾ抵抗の変化を測定した。強制変位による力に対応した加速度をz軸、x軸独立に検出することができ、基本的な特性を取得した。