[24a-E103-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[24a-E103-6] ミニマルファブを用いた２軸ピエゾ抵抗型加速度センサの開発

〇小粥 敬成¹、田中 宏幸²、居村 史人²、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)

キーワード：ミニマル、MEMS、センサ

これまではピエゾ抵抗型１軸加速度センサについて検討を行なってきたが、次の段階としてフルミニマルプロセスによる２軸加速度センサの試作を行った。おもりにプローブによって強制変位を与える方法を用い梁上のピエゾ抵抗の変化を測定した。強制変位による力に対応した加速度をz軸、x軸独立に検出することができ、基本的な特性を取得した。