[24a-E202-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [24a-E202-2] 深さ分解ナノビームX線回折法によるコーン型NPSS上AlN厚膜の高空間分解能3次元トモグラフィック解析

〇中西 悠太¹、林 侑介¹、藤平 哲也¹、隅谷 和嗣²、今井 康彦²、木村 滋²、肖 世玉³、三宅 秀人^4,5、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.JASRI、3.三重大地創戦略企、4.三重大院地域イノベ、5.三重大院工)

キーワード：窒化アルミニウム、ナノビームX線回折、深紫外LED

ナノパターン加工を施したサファイア基板（NPSS）と対面式アニールを行ったスパッタ堆積AlN （FFA Sp-AlN）を組み合わせたAlNテンプレートにおいては様々な特異構造が存在する。本研究では、ナノビームX線回折において白金ワイヤを試料表面に対して平行に走査させることで結晶性の深さ情報を段階的に抽出する手法を導入し、FFA Sp-AlN/コーン型NPSSに特有な結晶性の変化について3次元的な解析を行った。