[24p-D114-1~11] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[24p-D114-3] タンデム誘導熱プラズマナノ粒子生成法における変調波形制御による生成ナノ粒子径度数分布制御

〇田中 康規¹、古川 颯大¹、長瀬 有理奈¹、不破 知哉¹、中野 裕介¹、石島 達夫¹、末安 志織²、渡邉 周²、中村 圭太郎² (1.金沢大理工、2.日清製粉Gr本社)

キーワード：ナノ粒子、誘導熱プラズマ、大量生成

独自開発したタンデム型変調誘導熱プラズマ(Tandem-MITP)に原料時間制御導入法(TCFF法)を組み合わせた「Tandem-MITP+TCFF 法」によるナノ粒子生成においては，生成ナノ粒子径は，変動させる熱流動場に大きく影響される．本報告では，Tandem-MITPの下段コイル電流変調波形を矩形波，鋸波，三角波としたSiナノ粒子生成における粒径度数分布に対する影響を実験的に検討した．