[24p-E203-1~16] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

△ [24p-E203-8] 深さ分解XPSスペクトル解析における未知成分の自動推定

〇(M2)村上 諒¹、吉川 英樹²、永田 賢二²、篠塚 寛志²、田中 博美³、飯塚 猛⁴、庄野 逸¹ (1.電通大、2.物材機構、3.米子高専、4.KRYSTAL株式会社)

キーワード：X線光電子分光、スペクトル解析

我々は，参照スペクトルを活用した全自動スペクトル解析手法の開発を目的としている．そのため本研究では，参照スペクトル群に一部欠落がある場合でも実測スペクトルを自動解析できるよう手法を発展させ，任意のVoigt関数の足し合わせで表現した未知成分を自動照合の過程に組み込んだ．その結果，既知/未知成分のピークパラメータだけでなく，未知成分を表現するピークの最適本数まで推定することも可能となった．