[24p-E304-1~10] Introducing 2D Layered Materials into LSI World!

[24p-E304-3] Issues in growth, formation, and evaluating function developments of 2D materials

〇Hirokazu Fukidome¹ (1.RIEC, Tohoku Univ.)

Keywords:growth, microfabicated substrate, operando nano x-ray spectroscopy

IRDS roadmapによる提言により、二次元原子薄膜の集積回路への導入が真剣に検討され始めている。二次元原子薄膜の導入においては、課題が山積している。本発表では、その中でも、集積回路応用に適した二次元原子薄膜の成膜、また、二次元原子薄膜をデバイス化した際に顕著となる界面相互作用について述べたい。