[24p-F308-1~11] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

△ [24p-F308-3] GCIBを用いた原子層エッチングによるSi3N4膜の極薄化及びその耐圧性評価

〇竹内 雅耶¹、藤原 怜輝¹、豊田 紀章¹ (1.兵県大工)

キーワード：クラスターイオンビーム、X線光電子分光、原子層エッチング

X線光電子分光（XPS）は分子の結合状態を解析するための有力な手法である。XPSで溶液を測定する場合には、真空中で溶液封止かつ光電子透過窓のための薄膜SiNを有する溶液セルが使われるが、これを数nmまで極薄化することにより光電子の検出感度の向上が期待できる。本研究では、そのSiN膜の極薄化のために、GCIBを用いた原子層エッチングに取り組む。また、その極薄化されたSiN膜の耐圧性を評価する。