[25a-E103-1~9] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [25a-E103-2] Micro-Mechanical Property Evaluation of Gold-Nickel Alloys Toward Design of MEMS Components

〇(M1)Takumi Akiyama¹, Yu-An Chien¹, Chun-Yi Chen¹, Tso Fu Mark Chang¹, Daisuke Yamane², Hiroyuki Ito¹, Katsuyuki Machida¹, Yoshihiro Miyake¹, Masato Sone¹ (1.Tokyo Tech, 2.Ritsumei Univ.)

Keywords:MEMS, micro-compression test, Au-Ni alloy

金を用いた微小電気機械システム（MEMS）加速度センサは，金の質量密度が高い（19.3g/cm3）ことから，機械的ノイズが少なく，感度が高いことが報告されている。しかし、金は電子工学において使われる材料としては、機械的特性が比較的小さい。そこで、本研究では、結晶粒微細化硬化や固溶強化による機械的特性の向上を考慮し、Au-Ni合金に注目した。また、本研究では微小圧縮試験を用いて、試料形状が機械的特性に及ぼす影響についても評価を行う。