[25a-E103-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [25a-E103-3] 微弱筋音測定のための高感度MEMSセンサモジュールの検討

〇大西 哲¹、柴田 滉平¹、内山 晃宏¹、町田 克之¹、緒方 大樹¹、石原 昇¹、内富 寛隆¹、CHANG TSO-FU¹、曽根 正人¹、三宅 美博¹、伊藤 浩之¹ (1.東工大)

キーワード：MEMS、センサモジュール、筋音

本発表では、微弱筋音測定のための高感度MEMS（microelectromechanical systems）センサモジュールについて報告する。ノイズフロアを低減させるために、高感度センサモジュールを設計および試作した。実験結果より、提案した高感度MEMS加速度センサモジュールは、我々が以前提案したものより10 dBのノイズフロア改善を確認した。また、実験結果より、本モジュールによる微弱筋音計測が可能である見通しを得た。