[25a-E103-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [25a-E103-8] 電気二重層エレクトレットを用いた非接触型面外振動発電の検討

〇(BC)野田 圭吾¹、田村 健太郎¹、三輪 一元²、小野 新平²、山根 大輔¹ (1.立命館大、2.電中研)

キーワード：電気二重層エレクトレット、振動発電、面外