[25a-E104-1~10] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

△ [25a-E104-2] シリコン窒化膜に形成されるプラズマダメージの機械特性評価と電気特性評価との相関に関する検討

〇郷矢 崇浩¹、久山 智弘^1,2、占部 継一郎¹、江利口 浩二¹ (1.京大院工、2.学振特別研究員 DC)

キーワード：プラズマ誘起ダメージ、機械特性、シリコン窒化膜

プラズマプロセス時に絶縁膜中に形成されるプラズマダメージはデバイス特性や信頼性に重大な影響を及ぼす．繰り返しナノインデンテーションはプラズマダメージによる機械特性変化の高精度な解析が期待されている一方で，従来の電気特性評価との相関に関する検討は十分でなかった．本研究では，プラズマ曝露前後でのシリコン窒化膜の機械特性変化と電気特性変化との相関を詳細に調べ，プラズマダメージの機構について議論する．