2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[25a-E203-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年3月25日(金) 09:00 〜 12:00 E203 (E203)

関口 寛人(豊橋技科大)、出浦 桃子(東大)

11:30 〜 11:45

[25a-E203-10] 高品質導電性AlInN/GaN DBR形成に向けた水素クリーニング

〇柴田 夏奈1、稲垣 徹郎1、長澤 剛1、竹内 哲也1、上山 智1、岩谷 素顕1 (1.名城大理工)

キーワード:半導体