[25a-E203-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[25a-E203-9] 完全緩和した半極性{11-22}GaInN 上への AlInN 膜の成長

〇藤澤 孝博¹、中林 泰希¹、江川 孝志¹、三好 実人¹、竹内 哲也²、岡田 成仁³、只友 一行³ (1.名工大、2.名城大、3.山口大)

キーワード：MOCVD、AlInN