[25a-E305-1~11] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [25a-E305-7] Fabrication of c-axis tilted MgZnO thin film

〇Hiroki Kishi^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:Piezoelectrics, Ferroelectrics, MgZnO

すべりモードを励振する圧電薄膜は液体中で使用する薄膜共振子型センサや表面波センサへの応用が期待できる。これらのセンサには高い疑似すべりモードの電気機械結合係数k₁₅を持つ圧電薄膜が要求される。圧電体であるZnOはc軸を電界に対し傾斜させると電気機械結合係数が変化する。また我々のグループはZnOにMgをドープすることによって圧電性が向上することを報告している。
本研究ではc軸を30º傾斜したMgZnO薄膜の作製に成功した。