[25a-F307-1~8] 6.4 薄膜新材料

[25a-F307-6] メラミンフロー還元窒化法を用いたGa₂O₃ エピタキシャル薄膜の窒化

〇川口 昂彦¹、庄子 由夏¹、坂元 尚紀¹、鈴木 久男¹、脇谷 尚樹¹ (1.静大院工)

キーワード：窒化物、メラミン、酸化物

窒化物は、発光素子、耐熱材、磁性材料など様々 な用途へ応用できる有用な材料である。近年、
窒化物の合成方法としてメラミン(C₃H₆N₆)を固体窒化源として利用した還元窒化法が注目されて
いる。我々は、メラミンと酸化物原料を反応管内に別々に設置し、上流側からメラミンを供給す
る 「メラミンフロー還元窒化法」の開発を進めている。今回我々は、酸化物エピタキシャル薄膜
に 本手法を適用した際トポケミカル反応が進行すれば、窒化物の二軸配向薄膜が得られるのでは
ないかと考えた。そこで本研究では、β-Ga₂O₃ エピタキシャル薄膜をモデルケースとして、メラミ
ンフロー還元窒化法により酸化物薄膜から窒化物薄膜の作製を試みた。