[25p-E104-1~21] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[25p-E104-2] SiNのプラズマ支援ALDにおける低エネルギーイオンの効果

〇伊藤 智子¹、北 英和¹、鈴木 歩太²、加賀谷 宗仁²、松隈 正明²、松崎 和愛²、唐橋 一浩¹、浜口 智志¹ (1.阪大院工、2.東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ（株）)

キーワード：プラズマ支援原子層堆積