[25p-E202-1~15] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

△ [25p-E202-3] Fabrication of ITZO-TFT-Based Active-Pixel-Sensor Pixel Arrays for Image Sensors

〇Koki Imamura¹, Toshikatsu Sakai¹, Hidenori Yakushiji², Yuta Hashimoto², Tatsuya Aotake², Yuichi Sadamitsu², Hiroto Sato¹, Satoshi Aihara¹ (1.NHK STRL, 2.Nippon Kayaku)

Keywords:imaging device, oxide semiconductor, thin-film transistor

単板式小型カメラの高感度化に向け，異なる波長選択性を持つ複数の有機光電変換膜と信号読み出し用TFT回路を積層した垂直色分離型の撮像デバイスの研究を進めている．従来のTFT回路では，画素内にTFTを1個配置した非増幅型画素が適用されており，外部ノイズの影響を受けやすいという課題があった．今回，画素内にTFTを3個配置して増幅型化した画素からなるアレイを試作し，選択した画素からの信号読み出し動作を実証した．