[25p-E305-1~18] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [25p-E305-13] Epitaxial PbTiO3 array transducer for ultrasonic imaging using the reflectometry of back side of substrate in the giga-hertz range

〇(B)Yuna Koike^1,2, Yusuke Sato^1,2, Satoshi Matsumura^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:ultrasonic imaging, piezoelectric devices, PbTiO3 epitaxial thin films

これまでにPb(ZrxTi1-x)O3 (PZT)系 pMUT を利用したイメージングデバイスが報告されている。 しかし pMUT は屈曲振動がゆえに駆動周波数 が数十MHz にとどまる。一方で厚み縦モードでは音響インピーダンス の整合は難しいが、GHz 帯の超音波を利用し、空間分解能を高めることができる。そこで厚み縦モードの AlN を用いた指紋イメージングが報告されているが、AlN の比誘電率は低く、電極面積を小さくすると測定系に対して電気的インピーダンスの整合が難しくなる。一方、PbTiO3 の比誘電率は高く、電極面積を小さくすることができ、空間分解能が さらに向上すると考えられる。そこで本研究でPbTiO3 トランスデューサをアレイ化 したデバイスで指紋イメージングを報告する。