[25p-E305-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

△ [25p-E305-6] スパッタ法による透明ScAlN薄板の成長

〇李 嵩^1,2、岩田 直也^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：ScAlN、超音波用プローブ、低周波

医療用超音波用プローブでは鉛フリーな材料が望ましく、PZTセラミックやPMN-PT系の単結晶が多く用いられている。ScAlNは巨大圧電性を有することから医療用超音波プローブに応用できる可能性がある。我々のグループは90μmのScAlNを用いた40MHz帯多結晶トランスデューサを報告しているが、医療用超音波に使用するにはより低周波化する必要がある。本報では0.3mm厚のScAlN自立薄板を用いた12MHzの厚み縦モード共振子を報告する。