[25p-E305-1~18] 6.1 強誘電体薄膜

△ [25p-E305-9] c軸ジグザグ分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ

〇(B)柴田 真之^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：周波数フィルタ、ScAlN、圧電体

SAWを利用した高周波フィルタには主に共振子型とトランスバーサル型の2種類がある。SAW型トランスバーサルフィルタには、振幅特性と位相特性を独立に制御できるという利点がある。一方SAWデバイスよりも高い耐電力性を持ちより高周波で駆動できるBAWデバイスにおいては、現時点でBAW型のトランスバーサルフィルタに関する報告例は見つけられない。本研究では基板両面に分極反転多層を配置したBAW型トランスバーサルフィルタを報告する。