[25p-E305-1~18] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [25p-E305-9] BAW transmitter / receiver type transversal filter
using c-axis zigzag polarization inversion ScAlN thin film

〇(B)Saneyuki Shibata^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST)

Keywords:frequency filter, ScAlN, piezoelectric material

SAWを利用した高周波フィルタには主に共振子型とトランスバーサル型の2種類がある。SAW型トランスバーサルフィルタには、振幅特性と位相特性を独立に制御できるという利点がある。一方SAWデバイスよりも高い耐電力性を持ちより高周波で駆動できるBAWデバイスにおいては、現時点でBAW型のトランスバーサルフィルタに関する報告例は見つけられない。本研究では基板両面に分極反転多層を配置したBAW型トランスバーサルフィルタを報告する。