[25p-E307-1~15] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[25p-E307-2] 新電解めっき技術による電気二重層の電位シミュレーション

〇松島 章¹、岩津 春生² (1.熊本大院先端、2.熊本大院先導)

キーワード：電解めっき、電気二重層、計算電磁気学

電気めっきの過程においては，電解液中の陽イオンと陰極の電子との間に働くクーロン力の作用で電気二重層が形成され，両電荷が陰極表面で接触して還元が生じる。微細配線の形成技術を高度化するためには，還元開始直前のイオン分布を電極形状に対応させて把握することが重要となる。本研究では計算電磁気学の観点から，ポアソン・ボルツマン方程式を有限差分法により解き電位分布を求める。