[25p-F307-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [25p-F307-10] 基板表面改質によるLiBH₄薄膜の平坦性改善

〇(M1)磯 啓一朗¹、岩崎 慧¹、風間 敦夫¹、大口 裕之¹ (1.芝浦工大)

キーワード：固体電解質

10^-3 S/cm以上の高速Liイオン伝導を示すLiBH₄薄膜は、固体電解質としての応用が期待される材料である。ただし、報告されているLiBH₄薄膜の表面には数μm程度の凹凸があり平坦性が低かった。この凹凸の原因は、基板との濡れ性が低いことによる膜の島状成長にあることが、最近の調査によって明らかになった。そこで本研究では、活性水素を用いて基板表面改質を実施することで、島状成長を抑制し、LiBH₄薄膜の平坦性を改善することを目指した。