2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[25p-F307-1~16] 6.4 薄膜新材料

2022年3月25日(金) 13:30 〜 18:00 F307 (F307)

田中 勝久(京大)、土屋 哲男(産総研)

16:45 〜 17:00

[25p-F307-12] IV族遷移金属水素化物および窒化物の薄膜成長と仕事関数評価

〇(M2)曹 子陽1、林 遼一郎1、相馬 拓人1、大友 明1,2 (1.東工大物質理工、2.元素戦略)

キーワード:仕事関数、ケルビンプローブフォース顕微鏡、金属水素化物

他の元素に比べて小さな水素は,分子から原子への解離反応を通じて気相から固体内へ容易に拡散する.本研究では,金属化合物の仕事関数が水素の作用でどの程度変化するか直接的に見積もることを目的とした.水素からアニオン交換しても金属伝導を保持しうるIV族遷移金属元素(M = Ti,Zr,Hf)に着目し,水素化物と窒化物との間で大きな仕事関数の差を確認したので報告する.