[25p-F307-1~16] 6.4 薄膜新材料

△ [25p-F307-8] 赤外レーザー蒸着法による1族・2族金属水素化物の薄膜合成

〇(B)宗房 幸太¹、風間 敦夫¹、福士 英里香¹、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工)

キーワード：赤外レーザー蒸着法

1族・2族金属水素化物は、高温超伝導など水素由来の特殊な物性の宝庫であり、物性研究の深化とデバイス応用が期待されている。そしてこれまでに紫外パルスレーザー堆積法(PLD)によるLiH薄膜合成が報告されていたが、副生成物が生じるために結晶性が低くとどまっている。そこで本研究では、紫外PLD法に変わる1族・2族金属水素化物薄膜合成の汎用的手法確立を目指し、赤外レーザー蒸着法による薄膜合成を実施した。