[26a-E103-1~9] 13.3 絶縁膜技術

[26a-E103-2] GeO2膜の耐水性についての検証

〇澁谷 岳人¹、岩崎 好孝¹、上野 智雄¹ (1.農工大院工)

キーワード：Ge系半導体