[26a-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[26a-E104-10] 応力解析による多結晶Siナノファセット構造の転位発生への影響調査

山腰 健太¹、〇大野 裕²、沓掛 健太朗³、小島 拓人⁴、工藤 博章⁴、田中 博之¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.東北大金研、3.理研AIP、4.名大院情報)

キーワード：粒界、シリコン、転位

転位の発生領域に存在する粒界にはナノファセットがTEM観察されたため、TEMデータを基にナノファセットの3次元モデルを作成して応力計算を行い、ナノファセット近傍での応力分布を調査した。せん断応力が粒界に集中しており、転位が発生した結晶粒により大きい応力がかかっていることが明らかになった。この応力の集中は転位発生の駆動力になりうる.。当日は転位の発生メカニズムについて、すべり系の視点から議論する。