[26a-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[26a-E104-9] 3次元数値解析によるβ型酸化ガリウムの転位密度解析の試み

〇柿本 浩一¹、中野 智¹、姚 永昭²、高橋 勲³、吉川 彰⁴ (1.九大応力研、2.ファインセラミックスセンター、3.(株)C＆A、4.東北大金研)

キーワード：酸化ガリウム、シミュレーション、転位

β-Ga₂O₃結晶中の転位は、デバイス特性の劣化の観点から密度を制御する必要がある。従来、SiC等のワイドバンドギャップ半導体の転位密度解析の報告例はあるが、β-Ga₂O₃に関しては、パイエルスポテンシャルなどの物性値の不足から転位密度解析結果は報告されていない。本報告では、VB法で成長直後の結晶内の転位密度分布をパイエルスポテンシャルなどの物性値を仮定し、3次元非定常解析法により求めた。