[26a-P03-1~15] 8 プラズマエレクトロニクス(ポスター)

[26a-P03-8] Ar/O₂大気圧マイクロ波プラズマにより処理したポリイミドフィルムの表面分析

〇岩田 悠揮¹、小笠原 知裕¹、鈴木 陽香¹、豊田 浩孝^1,2 (1.名大工、2.核融合研)

キーワード：アッシング、XPS