[26p-E104-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[26p-E104-10] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(20)窒素のLVM吸収のデータベース

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪府大 放射線研究センター)

キーワード：シリコン結晶、窒素、赤外吸収

シリコン結晶中の窒素は酸素、炭素と異なり色々な構造がある。赤外吸収により構造は約15種、LVMは約20種、NN-O 群, NO-O群, Ni-O 群, VNs, VNN, and VVNNが見つかり同定できたのでデータベースを作成した。種類が多いと個々の構造の濃度と挙動を知る必要がある。濃度への換算係数を決定し、As-grown結晶中の7種の濃度を推定した。