2022年第69回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[26p-E203-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

2022年3月26日(土) 14:15 〜 17:15 E203 (E203)

岩谷 素顕(名城大)、片山 竜二(阪大)

14:45 〜 15:00

△ [26p-E203-2] 周期的AlN凹凸パターン上に成長したAl0.6Ga0.4Nにおける転位密度の低減

〇(B)松原 衣里1、大森 智也1、山田 和輝1、長谷川 亮太1、薮谷 歩武1、近藤 涼輔1、岩山 章1,2、岩谷 素顕1、竹内 哲也1、上山 智1、三宅 秀人2 (1.名城大理工、2.三重大院地域イノベ)

キーワード：AlGaN、MOVPE