[26p-E206-1~14] CS.6 6.5 表面物理・真空、7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[26p-E206-11] ウィルソンシールを用いて装着したガラスナノピペットの非破壊検査法

〇高見 知秀¹、大友 千恵¹ (1.工学院大学)

キーワード：ガラスマイクロピペット、ガスフロー、圧力計測

我々は，ピペット先端からアルゴンガスを導入して，ピペットの入口側と出口側の圧力を計測することで非破壊的かつ簡便にピペットの内径と内部状態を確認する手法を開発してきた。しかしこれまでの方法ではピペットの真空槽内での装着に接着剤を用いていることと，圧力が連続的に変化していて平衡状態での正しい圧力計測になっていない問題があった。そこで本研究では，ウィルソンシールでピペットを装着することで接着剤の問題を解決し，流量調節器で気体導入を自動化して各平衡状態での圧力計測を行った。既報と同様に二次の関係が得られ，内径が1 µm未満になると一次の関係になることも示唆された。