16:00 〜 18:00 [15p-PA02-3] 原料ガスの有効利用を目的とした低圧Ar/CH4のプラズマ特性に及ぼす投入電力依存性の数値解析 〇(B)石原 卓也1、佐々木 瞬1、小田 昭紀1、上坂 裕之2 (1.千葉工大工、2.岐阜大工)