13:45 〜 14:00 [17p-B414-4] フッ硝酸Siエッチングプロセスの基板結晶面方位依存性解析 〇大井上 昂志1、黒木 佳奈1、平野 智暉1、西尾 賢哉1、齋藤 卓1、奥山 敦1、萩本 賢哉1、岩元 勇人1 (1.ソニーセミコンダクタ)