14:00 〜 14:15 △ [17p-B414-5] 負バイアス条件での酸化グラフェンアシストシリコンエッチング 〇(M1)後藤 雄太1、窪田 航1、宇都宮 徹1、一井 崇1、杉村 博之1 (1.京都大院)