10:30 〜 10:45 [16a-A402-6] 二周波容量結合型Ar/C4F8/O2プラズマにおける電力変調方式がイオン組成に与える影響 〇加藤 閣人1、赤塚 勇大1、関 悠斗1、久保井 宗一1、鈴木 陽香1,2、豊田 浩孝1,2,3 (1.名古屋大学、2.名大低温プラズマ、3.核融合研)