09:45 〜 10:00
〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、濱田 健吾1,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,4 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱、4.Hundred Semiconductors)
佐藤 和重
発表者・著者、共著者
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2023年3月15日(水) 09:00 〜 11:30 B410 (2号館)
09:45 〜 10:00
〇佐藤 和重1,3、千葉 貴史1,3、寺田 昌男1,3、濱田 健吾1,3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2,4 (1.ミニマルファブ推進機構、2.産総研、3.坂口電熱、4.Hundred Semiconductors)