16:00 〜 18:00 [15p-PA04-1] マンガンとバナジウムをドープしたシリコン窒化膜の電荷捕獲特性 〇諸星 大樹1、松本 明莉1、西垣 祐汰1、里中 友哉2、伊藤 勇十2、荒川 裕樹2、阿部 拓未2、小林 清輝1,2 (1.東海大院工、2.東海大工)