13:30 〜 15:30 [16p-PA04-3] 4H-SiC(11-20)面(a面)MOS界面欠陥の電子スピン共鳴分光(ESR/EDMR)評価 〇近藤 蓮1、染谷 満2,3、渡部 平司3、梅田 享英1 (1.筑波大数物、2.産総研、3.阪大工)