16:15 〜 16:30
〇(B)川村 隼也1、市川 景太1、鈴木 陽香1、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1 (1.名古屋大、2.キオクシア)
川村 隼也
発表者・著者、共著者
2023年3月17日(金) 13:00 〜 17:45 A205 (6号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2023年3月17日(金) 13:00 〜 17:45 A205 (6号館)
16:15 〜 16:30
〇(B)川村 隼也1、市川 景太1、鈴木 陽香1、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1 (1.名古屋大、2.キオクシア)