16:30 〜 16:45
〇(M1)川畑 竣大1、伊藤 智子1、Kang Song-Yun2、Lee Dongkyu2、唐橋 一浩1、浜口 智志1 (1.阪大院工、2.Samsung Electronics)
川畑 竣大
発表者・著者、共著者
2023年3月17日(金) 13:00 〜 17:45 A205 (6号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2023年3月17日(金) 13:00 〜 17:45 A205 (6号館)
16:30 〜 16:45
〇(M1)川畑 竣大1、伊藤 智子1、Kang Song-Yun2、Lee Dongkyu2、唐橋 一浩1、浜口 智志1 (1.阪大院工、2.Samsung Electronics)