16:30 〜 16:45 [17p-A301-13] N極性GaN HEMTのデジタルエッチングによる素子分離 〇斉藤 光亮1、佐野 春樹1、中川 亮1、真壁 勇夫2、中田 健2、後藤 高寛1、宮本 恭幸1 (1.東工大、2.住友電気工業)