[15p-A404-1~19] 6.1 Ferroelectric thin films

[15p-A404-3] Spatial resolution of polarization domain observation under electrode by direct piezoelectric response microscopy

〇Takuto Hagiwara¹, Kasidit Toprasertpong², Shinichi Takagi², Norifumi Fujimura¹, Takeshi Yoshimura¹ (1.Osaka Metropolitan Univ., 2.The Univ. of Tokyo)

Keywords:HfO2, Polarization domain structure

強誘電体ゲートトランジスタ(FeFET)の特性解析のため、本研究では正圧電応答顕微鏡法(DPRM)による上部電極下のHf系強誘電体薄膜の分極ドメイン観察に取り組んでいる。上部電極内で応力が分散されるため、空間分解能は上部電極の厚み、プローブ径、印加応力に依存することが予想される。そこで今回は有限要素法(FEM)を援用してDPRM法におけるドメイン観察の分解能について検討した。