[15p-A404-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[15p-A404-3] 正圧電応答顕微鏡法を用いた電極下分極ドメイン観察における空間分解能

〇萩原 拓永¹、トープラサートポン カシディット²、高木 信一²、藤村 紀文¹、吉村 武¹ (1.阪公大院工、2.東大院工)

キーワード：HfO2、分極ドメイン構造

強誘電体ゲートトランジスタ(FeFET)の特性解析のため、本研究では正圧電応答顕微鏡法(DPRM)による上部電極下のHf系強誘電体薄膜の分極ドメイン観察に取り組んでいる。上部電極内で応力が分散されるため、空間分解能は上部電極の厚み、プローブ径、印加応力に依存することが予想される。そこで今回は有限要素法(FEM)を援用してDPRM法におけるドメイン観察の分解能について検討した。