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△ [15p-A408-3] 高周波HiPIMS法を用いたDLC膜の膜密度と炭素結合の関係
キーワード:ダイヤモンド様炭素膜、ラマン分光法
本研究グループでは,薄膜のさらなる高機能化を図るための新しいHiPIMS法として,HF-HiPIMS電源の開発を行っている.本研究では,このHF-HiPIMS法を用いたDLC膜の膜密度と炭素結合の関係について報告する.炭素結合はラマン分光法により測定し,フォークト関数で5つの波形分離した.膜密度が増加するとDバンドが小さくなった.よって,膜密度の増加は入射イオンが強いことが示唆された.