[15p-A408-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15p-A408-3] 高周波HiPIMS法を用いたDLC膜の膜密度と炭素結合の関係

〇(DC)福江 紘幸¹、中谷 達行¹、岡野 忠之²、黒岩 雅英²、國次 真輔³、鷹林 将⁴、太田 裕己⁵、米澤 健^5,1 (1.岡山理大、2.東京電子、3.岡山工技セ、4.有明高専、5.ケニックス)

キーワード：ダイヤモンド様炭素膜、ラマン分光法

本研究グループでは，薄膜のさらなる高機能化を図るための新しいHiPIMS法として，HF-HiPIMS電源の開発を行っている．本研究では，このHF-HiPIMS法を用いたDLC膜の膜密度と炭素結合の関係について報告する．炭素結合はラマン分光法により測定し，フォークト関数で5つの波形分離した．膜密度が増加するとDバンドが小さくなった．よって，膜密度の増加は入射イオンが強いことが示唆された．