[15p-A408-1~14] 6.2 Carbon-based thin films

[15p-A408-5] Nano-size Controlled Doping into Diamond-like Carbon

〇Susumu Takabayashi¹, Hisashi Koga¹ (1.National Institute of Technology, Ariake College)

Keywords:Diamond-like carbon, Photoemission-assisted Townsend discharge, Dopng

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の有する低摩擦性などの優れた諸物性の向上や更なる新規物性探索を目的として、ヘテロ元素のドーピングが行われている。本発表では、DLCの電子デバイス応用を念頭に置いて、そのドーピング制御を試みる。